发明名称
摘要
申请公布号 JP4167248(B2) 申请公布日期 2008.10.15
申请号 JP20050199319 申请日期 2005.07.07
申请人 发明人
分类号 C23C14/04;C23C14/24;H01L51/50;H05B33/10 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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