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发明名称 DÜNNSCHICHTVERKAPSELUNG VON MEMS-BAUELEMENTEN
摘要
申请公布号 AT408584(T) 申请公布日期 2008.10.15
申请号 AT20030717894T 申请日期 2003.02.19
申请人 NORTHROP GRUMMAN CORPORATION 发明人 FREIDHOFF, CARL
分类号 B81B7/00;B81C1/00;B81B3/00;B81B7/02 主分类号 B81B7/00
代理机构 代理人
主权项
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