发明名称 |
一种悬臂梁式光纤光栅加速度计 |
摘要 |
本发明涉及光纤传感器技术领域,公开了一种悬臂梁式光纤光栅加速度计,包括:作为该光纤光栅加速度计支撑结构的外壳;用于固定悬臂梁的支撑柱,该支撑柱一端固定连接于悬臂梁,另一端固定连接于所述光纤光栅加速度计的底侧面;悬臂梁;安装于悬臂梁上侧两端的第一凸台和第二凸台,用于水平固定光纤光栅,且使光纤光栅与悬臂梁具有一定的间隔;用于测量加速度的光纤光栅,其两端分别固定于悬臂梁上的第一凸台和第二凸台上,其中一端平行于悬臂梁表面延伸穿过所述光纤光栅加速度计侧壁上的孔至所述光纤光栅加速度计的外部;安装于悬臂梁下侧一端或两端的质量块,用于调整光纤光栅加速度计的灵敏度和自振频率。本发明提高了灵敏度,改进了封装工艺。 |
申请公布号 |
CN101285845A |
申请公布日期 |
2008.10.15 |
申请号 |
CN200710065321.X |
申请日期 |
2007.04.11 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
张文涛;李芳;刘育梁 |
分类号 |
G01P15/00(2006.01);B81B7/02(2006.01) |
主分类号 |
G01P15/00(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
周国城 |
主权项 |
1、 一种悬臂梁式光纤光栅加速度计,其特征在于,该光纤光栅加速度计包括:作为该光纤光栅加速度计支撑结构的外壳(1);用于固定悬臂梁(3)的支撑柱(2),该支撑柱(2)一端固定连接于悬臂梁(3),另一端固定连接于所述光纤光栅加速度计的底侧面;悬臂梁(3),用作弹性原件;安装于悬臂梁(3)上侧两端的第一凸台和第二凸台(4),用于水平固定光纤光栅(5),且使光纤光栅(5)与悬臂梁(3)具有一定的间隔;用于测量加速度的光纤光栅(5),该光纤光栅(5)的两端分别固定于悬臂梁(3)上的第一凸台和第二凸台(4)上,其中一端平行于悬臂梁(3)表面延伸穿过所述光纤光栅加速度计侧壁上的孔(7)至所述光纤光栅加速度计的外部;安装于悬臂梁(3)下侧一端或两端的质量块(6),用于调整光纤光栅加速度计的灵敏度和自振频率。 |
地址 |
100083北京市海淀区清华东路甲35号 |