移载容器循环气流结构

摘要

本实用新型涉及一种移载容器循环气流结构，特别是指一种可长时间维持及控制移载容器内部洁净度的循环气流结构，该移载容器包含有可相对盖合的一底座与一壳罩，且底座与壳罩上至少设有一进气元件与一出气元件，前述进、出气元件可选择性产生气密作用，当移载容器承置于对应装置时，利用设于装置上具对应充气元件与排气元件的循环单元，以充、排气元件分别与移载容器的进、出气元件对接，而对密合的移转容器内部注入干净气体，并将移转容器内部的气体排出，使得气体可于该移转容器内部形成进、出的循环流动状态，而能长时间维持移转容器内部环境的洁净度，同时加速有害物质的释出，进一步并得以控制该移载容器内部环境的条件，以提升光掩模储存的洁净度。

主权项

1、 一种移载容器循环气流结构，其用于容置晶圆、光掩模等物件的移载容器，移载容器可置于一具充、排气循环单元的装置上，其特征在于该移载容器包含有：一底座，其可支撑该前述物件；一壳罩，其供选择性相对该底座盖合与开启，该壳罩盖合于底座上形成一容置前述物件的容置空间；至少一进气元件，其具有选择性启闭的功能，该进气元件并与前述容置空间连通，进气元件供连接装置的循环单元，以选择性通过循环单元将气体注入该容置空间；至少一出气元件，其具有选择性启闭的功能，该出气元件并与前述容置空间连通，出气元件供于前述进气元件将气体注入容置空间时、同步将容置空间内的气体通过装置循环单元排出。