一种用于硒化处理的高活性硒源的产生方法及装置和应用

摘要

一种用于硒化处理的高活性硒源的产生方法及装置和应用。本发明方法包括：将固态硒加热蒸发产生硒蒸汽；向上步产生的硒蒸汽中并入氢气，或氢气与氩气的混合气体；将上步混合气体进行等离子体辉光分解与合成，得到硒化氢及高活性的硒气氛。硒源产生装置包括一个密闭反应罐，反应罐内的固态硒源、阳极和阴极辉光电极、硒化氢反应腔，以及反应罐外的加热装置和激励电源，同时在反应罐侧壁上设有气体输入端口，反应罐顶部设有用气体输出端口。本发明既保留了固态硒低价无毒、容易运输和保存的优点，又可在硒化过程中在线制备硒化氢及高活性硒气氛，使之具有硒化氢的高活性硒源的特性，还可节省大量的硒原料，降低成本，具有重要的实用价值。

主权项

1、一种用于硒化处理的高活性硒源的产生方法，其特征在于该方法包括：第一、将固态硒加热蒸发产生硒蒸汽；第二、向上步产生的硒蒸汽中并入氢气，或氢气与氩气的混合气体；第三、将上步混合气体进行等离子体辉光分解与合成，得到硒化氢及高活性的固态硒硒气氛。