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发明名称
摘要
申请公布号 JP4165913(B2) 申请公布日期 2008.10.15
申请号 JP19970211208 申请日期 1997.07.23
申请人 发明人
分类号 C23C14/40;H05H1/46;C23C14/32;H01J37/32 主分类号 C23C14/40
代理机构 代理人
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