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经营范围
发明名称
Polymer remover
摘要
申请公布号
EP1701218(A3)
申请公布日期
2008.10.15
申请号
EP20060251063
申请日期
2006.03.01
申请人
ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS LLC
发明人
AUGER, ROBERT L.;LACHOWSKI, JOSEPH F.
分类号
G03F7/42
主分类号
G03F7/42
代理机构
代理人
主权项
地址
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