发明名称 借助激光辐射进行材料处理的装置和方法
摘要 在用于借助激光辐射进行材料处理的装置中,所述装置包括:激光辐射源(S),该激光辐射源发射用于与材料(5)相互作用的脉冲激光辐射(3);光学装置(6),该光学装置将脉冲激光辐射(3)聚焦到材料(5)中的相互作用中心(7),其中激光脉冲在围绕每个分配给所述激光脉冲的相互作用中心(7)的区(8)中与材料(5)相互作用,使得材料(5)在相互作用区(8)中分离;扫描单元(10),该扫描单元在材料(5)内调节相互作用中心的位置;和控制单元(17),该控制单元控制扫描单元(10)和激光辐射源(S),使得在材料(5)中通过相互作用区(8)的连续布置产生切割面(9),设计:控制单元(17)控制激光辐射源(S)和扫描单元(10),使得相互作用中心(7)以彼此位置间隔a≤10μm地定位。
申请公布号 CN101287428A 申请公布日期 2008.10.15
申请号 CN200680038169.X 申请日期 2006.10.04
申请人 卡尔蔡司医疗技术股份公司 发明人 马克·比朔夫;德克·米尔霍夫;格雷戈尔·施托布拉瓦
分类号 A61F9/011(2006.01) 主分类号 A61F9/011(2006.01)
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 郑立;林月俊
主权项 1.借助激光辐射进行材料处理的装置,所述装置包括:激光辐射源(S),所述激光辐射源发射用于与材料(5)相互作用的脉冲激光辐射(3);光学装置(6),所述光学装置将所述脉冲激光辐射(3)聚焦到所述材料(5)中相互作用中心(7);扫描单元(10),所述扫描单元在所述材料(5)内调节相互作用中心的位置,其中,每个处理激光脉冲在围绕分配给它的所述相互作用中心(7)的区(8)中与所述材料(5)相互作用,使得所述材料(5)在所述相互作用区(8)中分离;和控制单元(17),所述控制单元控制所述扫描单元(10)和所述激光辐射源(S),使得在所述材料(5)中通过相互作用区(8)的连续布置产生切割面(9),其特征在于,所述控制单元(17)控制所述激光辐射源(S)和所述扫描单元(10),使得相邻的相互作用中心(7)以彼此位置间隔a≤10μm地定位。
地址 德国耶拿