发明名称 METAL LOADING METHOD AND DEVICE
摘要
申请公布号 EP1655389(A4) 申请公布日期 2008.10.15
申请号 EP20040747450 申请日期 2004.07.07
申请人 FUJIKURA LTD. 发明人 HIRAFUNE, SAYAKA;SUEMASU, TATSUO
分类号 C23C26/00;B23K3/06;C23C2/00;C23C2/14;C23C2/26;H01L21/768;H05K3/34 主分类号 C23C26/00
代理机构 代理人
主权项
地址