发明名称 |
METAL LOADING METHOD AND DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1655389(A4) |
申请公布日期 |
2008.10.15 |
申请号 |
EP20040747450 |
申请日期 |
2004.07.07 |
申请人 |
FUJIKURA LTD. |
发明人 |
HIRAFUNE, SAYAKA;SUEMASU, TATSUO |
分类号 |
C23C26/00;B23K3/06;C23C2/00;C23C2/14;C23C2/26;H01L21/768;H05K3/34 |
主分类号 |
C23C26/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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