发明名称 相变化存储装置及其制造方法
摘要 本发明公开了一种相变化存储装置及其制造方法。该相变化存储装置包括:基底;介电层,设置于该基底之上;相变化材料层,埋设于该介电层中;以及第一导电电极,埋设于该介电层内,并沿垂直于该介电层的顶面的方向延伸穿透该相变化材料层。
申请公布号 CN101286546A 申请公布日期 2008.10.15
申请号 CN200710096096.6 申请日期 2007.04.13
申请人 财团法人工业技术研究院;力晶半导体股份有限公司;南亚科技股份有限公司;茂德科技股份有限公司;华邦电子股份有限公司 发明人 黄振明
分类号 H01L45/00(2006.01);H01L27/24(2006.01) 主分类号 H01L45/00(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波
主权项 1.一种相变化存储装置,包括:基底;介电层,设置于该基底之上;相变化材料层,埋设于该介电层中;以及第一导电电极,埋设于该介电层内,穿透该相变化材料层并沿垂直于该介电层的顶面的方向延伸。
地址 中国台湾新竹县