发明名称 |
形成用于传感器应用的半渗透膜的可光聚合的聚硅氧烷材料 |
摘要 |
一种制备传感器件(生物传感器)的方法,包括下述步骤:(1)施加可光构图的聚硅氧烷组合物到传感器件的表面上,形成膜,(2)在没有使用光刻胶的情况下,通过包括借助光掩膜将膜曝光于辐射线下以形成曝光膜的方法,来光构图该膜;(3)用显影溶剂除去未曝光膜的区域,形成构图膜;该方法形成覆盖传感器件的预选区域的选择透过层或者分析物衰减层。 |
申请公布号 |
CN101288028A |
申请公布日期 |
2008.10.15 |
申请号 |
CN200580027115.9 |
申请日期 |
2005.06.21 |
申请人 |
陶氏康宁公司 |
发明人 |
G·B·加德纳;S·马格苏迪;B·R·哈克尼斯 |
分类号 |
G03F7/075(2006.01);C12Q1/00(2006.01);G01N33/543(2006.01);G01N27/40(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/075(2006.01) |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
张钦 |
主权项 |
1.一种方法,其包括:(1)施加可光构图的聚硅氧烷组合物到传感器件的表面上,形成膜,(2)在没有使用光刻胶的情况下,通过包括借助光掩膜将膜曝光于辐射线下以形成曝光膜的方法,来光构图该膜;(3)用显影溶剂除去未曝光的膜区域,形成构图膜;任选地(4)加热该构图膜。 |
地址 |
美国密执安 |