发明名称 GERÄT ZUR VERDAMPFUNG VON WERKSTOFFEN ZUR BESCHICHTUNG VON GEGENSTÄNDEN
摘要
申请公布号 AT408890(T) 申请公布日期 2008.10.15
申请号 AT20010271645T 申请日期 2001.12.14
申请人 SHM, S.R.O. 发明人 HOLUBAR, PAVEL;JILEK, MOJMIR
分类号 H01J37/32;C23C14/35;H01J37/34 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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