| 发明名称 | 电化学机械研磨系统和用于检测研磨终点的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种侦测研磨步骤终点的系统与方法，包括放置基材与研磨垫相接触；通过电解液在研磨垫的电极和基材上的一个或多个导电物质之间传递电子讯号，该电子讯号驱动基材上的一个或多个导电物质的电解研磨制程；以及侦测电子讯号中电压的增加或电流的减少中至少一项，以判定电解研磨的研磨终点。 | ||
| 申请公布号 | CN100425404C | 申请公布日期 | 2008.10.15 |
| 申请号 | CN03802547.7 | 申请日期 | 2003.01.21 |
| 申请人 | 应用材料股份有限公司 | 发明人 | 艾伦·杜布斯特;王彦;梁秀;陈良毓;安东尼·P·马奈斯 |
| 分类号 | B24B37/04(2006.01);B24B49/04(2006.01);G01B7/06(2006.01);H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | B24B37/04(2006.01) |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 梁挥;徐金国 |
| 主权项 | 1.一种侦测研磨步骤终点的方法，该方法至少包含下列步骤：使基材上设置的一个或者多个导电物质与研磨垫的导电组件相接触，该导电组件与电源供应器连接；通过电解液在研磨垫的电极和基材上的一个或多个导电物质之间传递电子讯号，该电子讯号驱动基材上的一个或多个导电物质的电解研磨制程；以及侦测电子讯号中电压的增加或电流的减少中至少一项，以判定电解研磨的研磨终点。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||