发明名称 PROCEDE DE NANOSTRUCTURATION DE LA SURFACE D'UN SUBSTRAT
摘要
申请公布号 FR2903810(B1) 申请公布日期 2008.10.10
申请号 FR20060052981 申请日期 2006.07.13
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT PUBLIC A CARACTERE INDUSTRIEL ET COMMERCIAL;UNIVERSITE JEAN-MONNET;CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (C.N.R.S.) 发明人 FOURNEL FRANK;MEZIERE JEROME;BAVARD ALEXIS;PIGEON FLORENT;GARRELIE FLORENCE
分类号 H01L21/268;B82B3/00;H01L21/18 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人
主权项
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