| 发明名称 |
Verfahren zur Detektion einer Oberflächenlage und Abtastbelichtungsverfahren unter Verwendung derselbe |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69738335(T2) |
申请公布日期 |
2008.10.09 |
| 申请号 |
DE19976038335T |
申请日期 |
1997.02.27 |
| 申请人 |
CANON K.K. |
发明人 |
IWANAGA, TAKEHIKO;YAMADA, YUICHI;UZAWA, SHIGEYUKI |
| 分类号 |
G03F9/00;G01B11/00;G01B11/03;G01B11/06;G03F7/20;G03F7/207 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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