Vorrichtung und Verfahren zum Messen der Position von Marken auf einer Maske

摘要

Es wird bereitgestellt eine Vorrichtung (1) zum Messen der Position von Marken (M) auf einer Maske (2), mit einem Maskenhalter (3) zum Halten der Maske (2), einer Aufnahmeeinheit (7) zum Aufnehmen der Marken (M) der vom Maskenhalter (3) gehaltenen Maske (2), einem Stellmodul (12) zum relativen Bewegen von Maskenhalter (3) und Aufnahmeeinheit (7) zueinander und einem Auswertemodul (17), das die aufgrund der Schwerkraft auftretende Durchbiegung der Maske (2) im Maskenhalter (3) numerisch berechnet und auf Basis der berechneten Durchbiegung, der Aufnahmen der Aufnahmeeinheit (7) und der Relativbewegung von Maskenhalter (3) und Aufnahmeeinheit (7) die Position der Marken (M) auf der Maske (2) bestimmt, wobei vor der Berechnung der Durchbiegung die vorliegende Lage der Maske (2) im Maskenhalter (3) bestimmt und bei der numerischen Berechnung berücksichtigt wird und/oder die geometrischen Abmessungen der Maske (2) bei der numerischen Berechnung der Durchbiegung berücksichtigt werden.