| 发明名称 |
Herstellungsverfahren für MEMS-Bauelemente auf Siliziumbasis |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE602004016080(D1) |
申请公布日期 |
2008.10.09 |
| 申请号 |
DE200460016080T |
申请日期 |
2004.06.11 |
| 申请人 |
DALSA SEMICONDUCTOR INC. |
发明人 |
OUELLET, LUC;ANTAKI, ROBERT |
| 分类号 |
B81B3/00;B81C1/00;H01L21/00 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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