METHOD AND DEVICE FOR COATING PARTICULARLY ROUNDED OBJECTS BY MEANS OF A PVD AND/OR CVD OR PACVD METHOD IN A VACUUM SYSTEM

摘要

Ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Beschichtung von insbesondere gerundeten Gegenständen, wie beispielsweise Kugeln aus Kunststoff, Metall, Glas oder anderen Materialien, mittels eines PVD- und/ oder CVD- oder PaCVD-Verfahrens in einer Vakuumanlage zeichnet sich dadurch aus, dass die Gegenstände mit dem Beschichtungsmaterial in Dampfform ggf. reaktiv in Kontakt gebracht werden und durch Vibrationsenergie zur Rotation und ggf. auch zum Schweben gebracht werden, um eine gleichmäßige Beschichtung zu erreichen.