| 发明名称 |
MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM MICROMIRRORS FOR HIGH FILL FACTOR ARRAYS AND METHOD THEREFORE |
| 摘要 |
A micro-electro-mechanical-system (MEMS) micromirror for use in high fill factor arrays which
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| 申请公布号 |
WO2008078182(B1) |
申请公布日期 |
2008.10.09 |
| 申请号 |
WO2007IB04150 |
申请日期 |
2007.12.19 |
| 申请人 |
ZHOU, TIANSHENG |
发明人 |
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| 分类号 |
B81B5/00;B81B7/02;G02B5/08;G02B26/08 |
主分类号 |
B81B5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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