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发明名称 und der wärmebehandelte Siliciumwafer
摘要
申请公布号 DE10066121(B4) 申请公布日期 2008.10.09
申请号 DE20001066121 申请日期 2000.10.23
申请人 MITSUBISHI MATERIALS SILICON CORP. 发明人 MUROI, YUKIO;SHIOTA, TAKAAKI
分类号 C30B33/02;C30B15/00;C30B15/20 主分类号 C30B33/02
代理机构 代理人
主权项
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