Verfahren zur Erzeugung einer mikromechanischen Struktur

摘要

Bei einem Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Struktur wird zunächst eine zweidimensionale Struktur in einem Substrat ausgebildet. Die zweidimensionale Struktur wird aus der Substratebene durch Krafteinwirkung ausgelenkt und in dem ausgelenkten Zustand fixiert.