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La présente invention concerne un procédé de détection de défauts de surface, tels que les défauts de type « lignes de glissement », sur un substrat (2) destiné à être utilisé en électronique, optoélectronique ou analogue, remarquable en ce qu'il comporte au moins les étapes suivantes de :- projection sur le substrat (2) d'une mire constituée d'une alternance de franges de lumière et de bandes sombres, de manière à générer des franges réfléchies par la surface du substrat (2),- déplacement relatif de la mire et du substrat (2) suivant au moins une direction, de manière à déplacer les franges de la mire sur le substrat (2),- acquisition, par un capteur (8), d'une séquence d'au moins trois images de la mire réfléchie par le substrat (2), les images correspondant au déplacement des franges de la mire,- détermination de la pente de la surface du substrat (2) à partir des déplacements des franges de la mire, et- détermination de la présence d'un défaut de surface sur le substrat (2) à partir des variations de la pente de la surface du substrat (2).Un autre objet de l'invention concerne un dispositif mettant en oeuvre ledit procédé.
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