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发明名称 ANPASSUNGSVORRICHTUNG UND PLASMA-BEHANDLUNGSANLAGE
摘要
申请公布号 DE60040005(D1) 申请公布日期 2008.10.02
申请号 DE20006040005 申请日期 2000.10.12
申请人 TOKYO ELECTRON LTD. 发明人 HIMORI;YUASA, MITSUHIRO;WATANABE, KAZUYOSHI;SHIMADA, JUN'ICHI
分类号 H01L21/302;H05H1/46;C23C16/505;H01J37/32;H01L21/3065;H03H7/40 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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