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Offenbart wird eine Testvorrichtung für Halbleiterbauelemente, insbesondere Prüfkarte, mit mindestens einem Kontaktprüfkörper zum Kontaktieren eines Halbleiterbauelements, wobei die Prüfkarte eine Selbstausrichtungseinrichtung und/oder eine Eindringbegrenzungsvorrichtung, oder Teile davon, aufweist. Auch offenbart wird ein Halbleiterbauelement mit mindestens einem durch Kontaktprüfkörper einer Testvorrichtung kontaktierbaren Kontaktfeld, wobei das Halbleiterbauelement im Bereich des Kontaktfelds eine Selbstausrichtungseinrichtung und/oder eine Eindringbegrenzungsvorrichtung, oder Teile davon, für den Kontaktprüfkörper aufweist. Ferner offenbart werden zugehörige Systeme und Verfahren.
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