| 发明名称 |
WÄSSRIGE PHOSPHORSÄUREZUSAMMENSETZUNG ZUR REINIGUNG VON HALBLEITER-VORRICHTUNGEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60323148(D1) |
申请公布日期 |
2008.10.02 |
| 申请号 |
DE20036023148 |
申请日期 |
2003.10.21 |
| 申请人 |
EKC TECHNOLOGY INC. |
发明人 |
DAVIOT, JEROME;REID, CHRISTOPHER;HOLMES, DOUGLAS |
| 分类号 |
C09K13/00;C11D7/06;C11D7/08;C11D7/32;C11D11/00;H01L21/02;H01L21/3213 |
主分类号 |
C09K13/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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