| 发明名称 |
MICROMECHANICAL DEVICE OF INCREASED RIGIDITY |
| 摘要 |
A micromechanical device includes a deflectable micromechanical functional structure and a non-rigid biased suspension positioning the micromechanical functional structure in the micromechanical device.
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| 申请公布号 |
US2008239431(A1) |
申请公布日期 |
2008.10.02 |
| 申请号 |
US20080046657 |
申请日期 |
2008.03.12 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. |
发明人 |
KLOSE THOMAS;DRABE CHRISTIAN |
| 分类号 |
G02B26/08 |
主分类号 |
G02B26/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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