APPARATUS FOR GRINDING SEMICONDUCTOR WAFER,申请号CA19902012878-传众专利搜索

发明名称	APPARATUS FOR GRINDING SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号	CA2012878(A1)	申请公布日期	1990.09.24
申请号	CA19902012878	申请日期	1990.03.22
申请人	SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES LTD.	发明人	NISHIGUCHI, MASANORI;GOTOH, NOBORU
分类号	B24B7/22;B24B37/04;B24B55/02;(IPC1-7):B24B57/02	主分类号	B24B7/22
代理机构		代理人
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