Elektrolytische Aufbereitungsvorrichtung und Verfahren zur elektrolytischen Aufbereitung, zum Waschen und Trocknen

摘要

Elektrolytische Aufbereitungsvorrichtung mit einer elektrolytischen Anlage zur Durchführung einer elektrolytischen Aufbereitung eines Wafers, einer Wascheinheit zur Waschung des aufbereiteten Wafers und einer Trockeneinheit zur Trocknung des Wafers. Die elektrolytische Anlage, die Wascheinheit und die Trockeneinheit sind in einer Prozesskammer angeordnet und als ein Modul ausgebildet. Auf diese Weise wird die elektrolytische Aufbereitung, die Waschung und die Trocknung von Wafern kontinuierlich an einem Ort durchgeführt.