高纯度矽的制造方法

摘要

本发明提供一种高纯度矽的制造方法，在用锌还原法由四氯化矽制造矽时，有效处理副生的氯化锌，而较廉价地制造高纯度矽。该方法包括：（1）使金属矽和氯化氢气体进行反应；（2）对所获得的反应生成物进行蒸馏而获得四氯化矽；（3）使所获得的四氯化矽和锌气体进行气相反应而生成高纯度矽；(4)使副生的氯化锌和氢气进行反应；以及（5）从所获得的反应生成物中分离回收锌和氯化氢，将步骤（5）中经分离回收的锌用作步骤（3）中锌气体的原料，且将步骤（5）中经分离回收的氯化氢用作步骤（1）中氯化氢气体的原料。