微影装置与方法

摘要

本发明在一实施例中揭示一种环密封件形成装置，该装置包括：一基板固持器，其经配置以固持一至少部分涂覆有抗蚀剂之基板；及一深紫外线辐射出口，其经组态以照射该抗蚀剂之一区域，该基板固持器与该深紫外线辐射出口之间的相对移动系可能的，该移动经配置以使得在该装置之使用中，由该深紫外线辐射出口照射之抗蚀剂区域为环形的。