| 摘要 |
本发明提供一种化学放大型阻剂组成物，其包含树脂，该树脂包含具有酸不稳定基的结构单位和由式(I)所示的结构单位：#P 096146444P01.bmp其中R#sP!1#eP!表示氢原子或甲基；环X表示C3-C30环状烃基，其中一个-CH#sB!2#eB!-经-COO-所取代，且在该C3-C30环状烃基中的至少一个氢原子可经取代；及p表示1至4的整数；以及该树脂本身为不溶于或不难溶于硷水溶液但是在酸的作用下变成可溶于硷水溶液；及式(II)所表示之盐：#P 096146444P02.bmp其中Y#sP!1#eP!和Y#sP!2#eP!各独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基；其中A#sP!+#eP!表示有机抗衡离子；及R#sP!21#eP!表示C1-C30烃基，其可经取代，且在该C1-C30烃基中的至少一个-CH#sB!2#eB!-可经-CO-或-O-所取代。 |
