| 发明名称 |
溅镀装置及溅镀方法 |
| 摘要 |
在直列式溅镀装置中，与用以支持真空槽(2)之真空槽支持脚(45)区别开来，藉由搬送系统支持脚(46)来支持设在真空槽(2)内部的输出搬送机构(25)。搬送系统支持脚(46)，贯通真空槽(2)的底部而到达地板(15)。搬送系统支持脚(46)所贯通的贯通孔，是藉由具有可挠性的管状气密材(55)而被覆盖。真空槽(2)，即使由于内压的变化而变形，当搬送带状薄片(16)时，也可以防止对带状薄片造成擦痕。 |
| 申请公布号 |
TW200839021 |
申请公布日期 |
2008.10.01 |
| 申请号 |
TW096109605 |
申请日期 |
2007.03.20 |
| 申请人 |
独立行政法人科学技术振兴机构 |
发明人 |
朋延;南部信政;中村长泰;沼秀规;影近隆;西尾寿美 |
| 分类号 |
C23C14/34(2006.01);C23C14/46(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/34(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财;李世章 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 |
