平面度检测装置及方法

摘要

本发明涉及一种平面度检测装置，其包括一光发射单元、一光接收单元、一载物台、一遮光单元及一处理单元。其中该光接收单元与该光发射单元相对设置。该载物台位于该光发射单元与该光接收单元之间，其用于承载待测工件。该遮光单元亦位于该光发射单元与该光接收单元之间，其用于检测时于待测工件之待测表面之最高点及最低点之高度之间与该待测表面相配合形成透光间隙。该处理单元与该光接收单元相连，其用于处理该光接收单元接收到之光讯息。本发明还涉及一种平面度检测方法。上述平面度检测装置及方法具有测量精度较高且易于避免被测工件被碰撞之优点。