基板处理方法

摘要

本发明提供一种基板处理方法。将装载至制程腔室内的基板载置于支撑板上。之后，使制程腔室与外部隔绝，将制程腔室内部的压力增加至既定的压力为止。以既定的压力使基板的温度稳定于固定的温度，将制程腔室内的压力减压至制程压力。当在制程腔室内对基板进行的制程完成后，将基板卸载至制程腔室的外部。增加制程腔室内部的压力的方法，有供给净化气体的方法及供给制程气体的方法。