光罩量测装置及光罩测量方法

摘要

提供一种光罩量测装置(1)，其包含：一光罩固持器(2)，用于固持一个光罩(3)，而该光罩则具有一个具有复数个标记(4)的物体平面；一光罩定位装置(5)，用于将该光罩固持器定位于预定位置中；测量光学器件(6)，用于测量由该光罩固持器(2)所固持的光罩(3)之该等标记(4)之位置，其中，该光罩固持器(2)以实质上平行于重力方向的物体平面来固持该光罩(3)，且以一相抵于重力的均匀分布力而沿着该光罩(3)之水平边缘(13、35)来支撑该光罩(3)。