发明名称 在钉形夹具量测中针销高度量测
摘要 本发明的系统,方法,设备和成品系关于量测物体譬如玻璃基板在钉床形状测量仪内的系统化计算和执行针销高度调整,尤其是和使用钉床测量仪来测量某一物体表面的无重力形状有关,这种物体包括用来制造液晶显示(LCD)玻璃片的玻璃基板。一个或以上的实施范例可能包括多个针销组,可在测量期间用来支撑表面。每一针销包含可传输测量讯号的测力量器,和可接收调整讯号和在收到调整讯号时执行针销高度调整的高度调整器。针销高度调整的执行可以系统化定位针销,使得表面施加在每个针销的测得力量接近对应于无重力形状的目标力量。
申请公布号 TW200839182 申请公布日期 2008.10.01
申请号 TW096143824 申请日期 2007.11.19
申请人 康宁公司 发明人 史提分贺森;布连保史代
分类号 G01N15/02(2006.01);G01N15/14(2006.01) 主分类号 G01N15/02(2006.01)
代理机构 代理人 吴洛杰
主权项
地址 美国