电浆处理装置、电浆处理方法及记忆媒体

摘要

提供处理容器之侧壁之温度控制性为良好，再者，可以抑制因电浆对基板造成损伤之电浆处理装置。电浆处理装置1具备：在处理容器11之上部被设置成与载置台2对向之第1电极31及第2电极32；用以将处理气体供给至该些第1电极31及第2电极32之间的气体供给部4；为了使供给于第1电极31及第2电极32之间之处理气体予以电浆化，对该些电极31、32之间施加高频电力之高频电源部33；和自处理容器11之下部使处理容器11内之环境予以真空排气之排气装置14。在载置台2上之基板B附近，电浆之电子温度变低，可以抑制电浆对基板B所带来之损伤，再者，因可以使用金属当作处理容器11之材质，故该温度控制性为良好。