低损失光学装置结构

摘要

本发明揭示一种针对一低损失光学装置的制造方法及结构。该光学装置结构包括一波导，其系形成于一SOI基板之一装置层内。一包覆区域系形成于该波导与该SOI基板之一BOX层的下方。该包覆区域可包含一空气腔或一使用一介电材料填充或至少部分填充的腔。因为该包覆区域系形成于底部侧，故其补充该BOX层包覆。因此，可将一更薄的BOX层用于电子与光学装置两者，其促进光电子IC处理与设计。