减缓成对深沟渠电容间之短路之方法

摘要

一种减缓成对深沟渠电容间之短路之方法，其系包含于该成对深沟渠电容间形成浅沟渠隔离之前，先于该成对深沟渠间之基材形成一氮化矽层。该氮化矽层之形成可解决成对深沟渠电容间之浅沟渠隔离下方可能发生的漏电流现象。