平面基版自动检测系统

摘要

本发明公开了一种平面基板自动检测系统及方法，系统包含有光学模组，此光学模组包含有照明元件、透镜组和相机，透镜组用以引导照明光束至基板的部分区域，透镜组包含一个菲涅尔透镜，相机接收经照明光源和基板作用后产生的反射光，相机包含一个时间延迟积分（TDI）感测器，远心成像透镜引导来自基板的反射光至相机，照明元件包含一个连接至含多组LED光源的控制器，每个LED可发射不同波长的光线。控制器独立控制每个LED光源。本发明能够高速分析大型平面基板，具有高灵敏度，而且可提供高解析度图像。