微波电浆束成长含碳薄膜之装置、方法及制成品

摘要

本发明系关于一种成长含碳薄膜之装置、方法和制成品，发明中利用微波电浆束辅助化学气相沈积系统，并配合天线之传导，制造甲烷与氢气气氛环境，于电浆束中解离出适能且适量的氢离子、碳离子及碳离子团以合成含碳薄膜。其中，碳离子源于薄膜层及晶粒表面进行沈积，受微波电浆束具有较高化学活化基特性的影响，使合成过程中有效抑制一晶格面的成长，相对提升另一晶格面的成长，其可成功合成出高方向性组织结构之含碳薄膜。发明中微波电浆束改善电浆密度不均之问题，其提高晶粒成长密度、细化晶粒及提高基材强韧性、耐磨耗等性质。