绕射级数量测

摘要

本发明系关于一种整合制版系统及一种用于制造光学媒体母片之方法。根据本发明之系统包含用于将资讯记录在母片上之机构，该机构包括用于将材料层施加至母片之机构、用于基于待记录资讯以所欲样型照射该材料层之雷射光束记录器、用于显影该材料层之机构、用于基于藉由该母片上记录之样型所绕射之光束的量测而决定该已显影层品质之机构、及用于控制以该母片的品质为基础之用于记录之该机构的机构。如本发明之该方法，决定母片之该已显影层的品质及控制后续母片之制版制程设定。