辐射系统及微影装置

摘要

本发明系关于一种用于产生电磁辐射之辐射系统。该辐射系统包括一对电极，其经建构及经配置以产生一第一物质之电浆及在该电浆中之一自束。该辐射系统亦包括一电浆重组表面，其邻近该自束而配置，且经组态以中和复数个电浆粒子。