浸没式电浆室

摘要

此处所述之实施例大体上提供一环形电浆源、一电浆通道装置、一喷头及一基板支撑组件以用于一电浆室中。环形电浆源、电浆通道装置、喷头及基板支撑组件适以改善电浆室之可用寿命、降低组件成本、增加电浆室可靠度及改善经处理之基板上之元件良率。