| 摘要 |
本发明之课题为，提供一种用以进行形成于基板之复数配线图案间之绝缘检查的绝缘检查装置及绝缘检查方法。本发明之解决手段为，一种在形成有复数配线图案的被检查基板中，进行该配线图案之绝缘检查的绝缘检查装置，其特征为，具有：记忆手段，基板之配线图案的面积系按每个配线图案被记忆为面积资讯；选出手段，从复数的配线图案依据检查顺序选出成为检查对象的配线图案；电源手段，将电压施加于检查对象的配线图案与其他配线图案之间的检查对象间；检测手段，检测电源手段施加电压时之检查对象间的电性特性；和算出手段，依据电性特性，算出用以判定检查对象间之绝缘状态的电阻值，并且选出手段系将面积资讯最大的配线图案选出作为最先的检查对象。 |
