| 摘要 |
本发明之一目的系提供一种干涉讯号量测系统与方法。其主体为基于复合式干涉仪的概念所架构而成，其中用于相位补偿的子系统系作为光线延迟之参考端，由于光线延迟装置在待测物体不同位置的量测间起始位置的不同，使得在待测物体的量测过程中，需有一相位补偿之机制。在表面形貌量测的应用里，材料表面形貌的资讯来自解析干涉讯号的相移(phase shift)，经由前述之相位补偿机制，干涉讯号量测系统的轴向解析度可达奈米尺度。在薄膜量测的应用上，光束以一预定角度的偏振态斜向入射于样品表面，以同时量测薄膜之折射率与厚度。在分别测得TE与TM两种模态的干涉讯号后，经由两组干涉讯号的相移与强度比即可计算出薄膜之折射率与厚度。 |
