类ＬＩＧＡ技术之微研磨及抛光工具之制造方法

摘要

本发明系一种微研磨及抛光工具之制造方法，该制造方法系使用类LIGA技术，将具有几何图案之光阻母模制作在金属基材上，并经复合电铸处理，使金属与陶瓷粉末颗粒等，例如是镍或其合金、铜或其合金、钻石、CBN、AL#sB!2#eB!O#sB!3#eB!、ZrO#sB!2#eB!或SiC等，同时沈积在光阻母模里，以制作成例如是微型钻石研磨棒、微型研磨锭等之微研磨及抛光工具。