形状可变镜及使用形状可变镜之雷射加工装置

摘要

一种形状可变镜及使用形状可变镜之雷射加工装置，系用以解决具有复数个驱动元件的形状可变镜虽自由度高但构造复杂之问题。该形状可变镜及使用形状可变镜之雷射加工装置系具备有：反射镜，系在单侧具有反射面1A；第1轴构件4，系在该反射镜1的背面1B固定于两部位；第2轴构件5，系具有固定于反射镜1之背面1B的两根脚5B且跨越第1轴构件4；以及距离变更机构2，系使第2轴构件5与第1轴构件4之间的距离改变；并且，连结用以固定第1轴构件4之部位的线段与连结用以固定第2轴构件5之脚5B之部位的线段系形成交差。