基于摩擦发光的超精密加工装置及其图像监测方法

摘要

基于摩擦发光的超精密加工装置及其图像监测方法，涉及机械制造业的技术领域，尤其涉及基于摩擦发光化合物的超精密加工装置的技术领域。本发明的抛光片支持架动力系统的下端连接支持夹具，支持夹具的下端连接抛光片，抛光片的下端对应设置基片，抛光片与基片之间填充有摩擦发光磨料、磨料；检测光源发射的检测光通过二相色镜反射到光谱扫描平台上，并传输到设置在光谱扫描平台上端的扫描镜头上，上述检测光经过扫描镜头到达基片支持架。本发明实现了通过监测半固着磨料抛光的在线过程，我们可以优化磨料在抛光区的停留时间和磨料输送抛光区的方式，从而提高抛光效率的目的。

主权项

1、一种基于摩擦发光的超精密加工装置，其特征在于：本装置包括抛光硬件系统(I)和光谱检测系统(II)两部分，所述抛光硬件系统(I)包括抛光片支持架动力系统(1)、抛光片(2)、支持夹具(3)、摩擦发光磨料(4)、磨料(5)、基片(6)、基片支持架(7)、基片支持架动力系统(8)；抛光片支持架动力系统(1)的下端连接支持夹具(3)，支持夹具(3)的下端连接抛光片(2)，抛光片(2)的下端对应设置基片(6)，基片(6)的下端连接基片支持架(7)，基片支持架(7)的下端连接基片支持架动力系统(8)，上述抛光片(2)与基片(6)之间分别填充有摩擦发光磨料(4)、磨料(5)；上述光谱检测系统(II)包括检测光源(9)、光谱扫描平台(10)、扫描镜头(11)、二相色镜(12)、检测电荷耦合器件(13)、计算机(14)，检测光源(9)发射的检测光通过二相色镜(12)反射到光谱扫描平台(10)上，并传输到设置在光谱扫描平台(10)上端的扫描镜头(11)上，上述检测光经过扫描镜头(11)到达基片支持架(7)，基片支持架(7)反射后传输到设置在二相色镜(12)下方的检测电荷耦合器件(13)上，并传输到计算机(14)上；上述抛光片支持架动力系统(1)、检测光源(9)、检测电荷耦合器件(13)分别与计算机(14)连接；上述抛光片支持架动力系统(1)与基片支持架动力系统(8)的转动方向相反但速度不同。