缺陷修补装置及靶材结构

摘要

本发明提供一种缺陷修补装置，包括：一电磁波发射单元、一平台、一承载单元以及一流体冷却单元。该平台，其是提供承载待修补之一基板，该基板上具有一缺陷线路。该承载单元，其是设置于该电磁波发射单元与该平台之间，该承载单元是承载有一修补材料，该修补材料可接收该电磁波发射单元所提供的电磁波光束，以转移至该缺陷线路上。该流体冷却单元，其是可吸收在转移修补材料时所产生的热，以提供冷却。利用本发明的装置可以防止缺陷修补装置受到热影响而受到破坏以及修补材料因受热而氧化的问题。另外本发明提供一靶材结构，其是承载多种不同材质以及不同厚度的修补材料，以适用于各种多样式的修补图案。

主权项

1. 一种缺陷修补装置，其特征在于包括：一电磁波发射单元；一平台，其是可提供承载待修补的一基板，该基板上具有一缺陷线路；一承载单元，其是设置于该电磁波发射单元与该平台之间，该承载单元是承载有一修补材料，该修补材料可接收该电磁波发射单元所提供的电磁波，以转移至该缺陷线路上；以及一流体冷却单元，其是可吸收在转移修补材料时所产生的热，以提供冷却。